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所用水均為通過超純水機(jī)處理后的超純水,電阻率不低于 18.2 MQ ? cm0 4.2試劑準(zhǔn)備 4.2.1硝酸。 4.2.2 30%過氧化氫。 4.2.3 2%硝酸溶液。 1 GB/T 4.2.4高氯酸硫酸銅濃度對(duì)沉積速率的影響在以上確定的工藝條件的基礎(chǔ)上改變硫酸銅的濃度同樣以考察其對(duì)沉積速率酶影晌結(jié)果冤圈 。由鱗可知當(dāng)硫酸銅濃度綴低于沉積速度較漫但

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