想要知道滿足集成電路類型的濰坊無塵車間又哪些施工要求，就要先明白什么是集成電路車間，顧名思義，集成電路無塵車間就是滿足半導體制造工藝要求的無塵車間，并且該無塵車間對車間內環境的潔凈度、濕度、溫度、振動等都有著一定的要求，集成電路無塵車間相對比其他車間來說，面積更大、潔凈度更高、溫濕度控制要更精確。
根據濰坊潔凈室車間的空氣循環特點，潔凈室可分為高效送風系統循環空調、濕密封系統循環風機和濰坊FFU循環系統三種。
第一種形式廣泛用于小型低級潔凈車間的設計，但對于大面積、高級潔凈車間，存在運行成本高、空間大等缺點。
第二種設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積、高層次的要求，但運行成本較高，且潔凈室風速和風量難以調節。系統升級難度大，操作靈活性低。
第三類FFU循環系統不僅節省操作空間，而且清潔度、安全性和操作成本低，操作靈活性高。系統可隨時升級調整，不影響生產。為滿足半導體制造的濰坊需求，FFU循環系統日益成為半導體制造行業最重要的精煉設計解決方案。
FFU循環系統的特點包括：整個潔凈室由靜壓床、工藝床、工藝輔助層和回風道組成。 FFU 為空氣循環提供動力。新鮮空氣和循環空氣混合通過超濰坊高效濰坊過濾器送入工藝流，床層和工藝輔助層的正壓層與工藝床層相比為負壓。還有電源、氣化、超純水供應等集成電路制造設施的輔助生產區。
集成電路制造對控制無塵工作環境有更嚴格的要求。例如，光刻需要1 級微環境，而化學機械拋光只需要1000 級環境。
此外，集成電路制造潔凈室對噪聲、微振動和照度，尤其是振動控制，都有相關的規定和要求，這對潔凈室的建筑結構設計至關重要。
良好的潔凈工作場所設計可以節約能源、降低成本、減少人力投入，為生產提供安全可靠的保障。三種清洗系統中，FFU循環系統運行成本最低，清洗安全性最高，所以大部分集成電路清洗廠都使用FFU循環系統。潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高，潔凈室投資和運行成本越高，因此當環境潔凈度或溫濕度要求較低時，必須部署一些關鍵工藝設備。高標準、潔凈度或溫濕度控制領域是IC制造潔凈車間的設計趨勢。
集成電路制造屬于耗能行業，清潔空調系統能耗占30%以上，因此節能安全的潔凈室設計和各種熱回收設計將是未來的發展方向。
現在集成電路制造發展的越來越快，集成電路的技術也在不斷地升級，很多主流的大廠都已經開始進入納米技術，這就要求集成電路制造潔凈車間的設計、建設和節能創新也必須不斷完善，這樣才能確保能生產出高端產品。
