泰安無塵車間的溫濕度主要是根據加工工藝要求來確定，在可以滿足加工工藝的條件下，首選應該考慮的就是人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的不斷提高，工藝對溫度、濕度的要求也隨之越來越高，所以必須達到一定的溫濕度等級。
例如在大規模集成電路生產光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
