【靈活性】因為FFU是自帶動力的,不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里可根據需要,分區控制。而且隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要有相應的調整,FFU的靈活性使之調整變得輕松,而且不會再去二次投資。
【負壓通風】這是FFU風機的獨特特點。因為它本身能夠提供靜壓,所以使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區內,使得密封變得很簡單而且安全。
【縮短建設周期】使用FFU省掉了風箱的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
【可再利用性】從理論上講,一時半會不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
【減少運行成本】雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但在它后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用大循環減少40%的運行成本。