光學透鏡中說的面型精度是什么意思?

2021/08/27 NMOT

   

光學透鏡面型精度

面型精度圖例

    光學透鏡面型精度是采用精密拋光表面與理想平面的偏差量來表征。因為使用可以測量波面的光學干涉儀來測量,所以也被稱為反射波面精度。光學透鏡面型精度的干涉條紋數的單位是[λ]。λ是干涉儀所使用的氦氖激光器的波長632.8nm。

   

光學透鏡干涉條紋

光學干涉儀條紋圖例

    另外,表征面型精度有兩個參數:PV和RMS值。

    PV值是Peak to Valley(峰值與谷值的差值),RMS值是Root Mean Square(均方根值),根據經驗RMS值是PV值的1/3左右。因為象平面這類的簡單形狀,大多使用PV值來表示,所以本產品目錄中的面型精度使用PV值表示。例如,面型精度的PV值是1/2λ時,表示與理想平面的最大偏差值是316.4nm。

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